Isolation pour croissance du SiC par procédé PVT
Les feutres isolants de qualité supérieure CALCARB® Edge font de Mersen un acteur clé de cette nouvelle technologie.
Les feutres isolants de qualité supérieure CALCARB® Edge font de Mersen un acteur clé de cette nouvelle technologie.
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La croissance du carbure de silicium (SiC) par transport physique de vapeur (PVT)
La croissance du carbure de silicium (SiC) par transport physique de vapeur (PVT) est un procédé utilisé pour produire des cristaux de SiC de haute qualité.
Principales étapes :
- Sublimation : La matière première SiC est chauffée à des températures élevées (généralement supérieures à 2000°C) dans un creuset en graphite, ce qui provoque sa sublimation (passage direct de l'état solide à l'état de vapeur).
- Transport : Les substances de silicium et de carbone vaporisées sont transportées dans la phase gazeuse, puis la vapeur se condense sur un cristal de base plus froid, généralement situé au sommet du creuset, et cristallise pour former une nouvelle couche de carbure de silicium. Un gradient thermique soigneusement contrôlé conduit la vapeur de la source au germe, ce qui est essentiel pour une croissance uniforme des cristaux. Au fil du temps, le cristal de SiC se construit couche par couche, atteignant l'épaisseur et la qualité souhaitées.
Le PVT est apprécié pour sa capacité à produire des cristaux de SiC de grande taille et de grande pureté, qui sont essentiels pour les applications électroniques et optoélectroniques.
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CALCARB® Edge
Pour le procédé PVT, l'isolation est clé
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Propriétés de l'isolation
Contrôle de la température
L'isolation permet de maintenir les températures élevées nécessaires à la sublimation et au dépôt du SiC. Une température uniforme est cruciale pour une croissance cristalline homogène.
Gradient thermique
Une isolation adéquate garantit un gradient thermique stable, essentiel pour diriger le flux des substances vaporisées du matériau d'origine vers le germe de cristal, ce qui favorise une croissance uniforme.
Efficacité énergétique
Une bonne isolation minimise les pertes de chaleur, réduisant ainsi la consommation d'énergie et les coûts tout en maintenant les conditions nécessaires à la croissance du SiC.
Prévention de la contamination
Les matériaux isolants agissent souvent comme des barrières contre les impuretés qui pourraient s'incorporer au cristal et en affecter la qualité.
Réduction du stress
En maintenant des températures uniformes, l'isolation contribue à réduire le stress thermique au sein du cristal en croissance, diminuant ainsi la probabilité de défauts et de dislocations.
Dans l'ensemble, une isolation efficace est cruciale pour obtenir des cristaux de SiC de haute qualité avec des propriétés physiques et électroniques optimales.
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Les principaux avantages de CALCARB® Edge by MERSEN
- La conception unique CwC (Cylinder within Cylinder) permet au client d'optimiser le coût de fonctionnement en réalisant des économies d'énergie significatives par rapport aux autres solutions disponibles sur le marché.
- Notre procédé unique et notre combinaison de matériaux permettent d'obtenir un écart-type étroit sur la tolérance des propriétés thermiques et mécaniques.
- Permet un contrôle précis du processus à haute température (2 400 °C)
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CALCARB® Edge by MERSEN pour des performances d'isolation extrêmes
CALCARB® Edge by MERSEN offre les meilleures propriétés d'isolation thermique à haute température, ce qui en fait le matériau de choix pour nos clients soucieux de l'efficacité énergétique de leur processus.
CALCARB® Edge by MERSEN pour optimiser l'efficacité de vos processus
L'isolant rigide CALCARB® Edge by MERSEN est beaucoup plus facile à usiner que d'autres matériaux d'isolation à haute température. Son homogénéité, combinée à sa capacité à être usiné dans des formes très complexes, permet un contrôle précis du gradient thermique dans les processus à haute température.
CALCARB® Edge by MERSEN pour une durée de vie prolongée, même dans les environnements les plus agressifs
Mersen a développé une gamme complète de procédés destinés à renforcer la résistance de l'isolant CALCARB® dans les environnements agressifs :
- L'infiltration de pyrocarbures-CVI protège le matériau de l'action des gaz réactifs jusqu'à son cœur.
- Un développement unique permet désormais à l'isolation CALCARB® utilisant du carbure de silicium SiC-CVI de réduire la réactivité du feutre à l'hydrogène au-delà de 1 000°C.
- Pour garantir l'imperméabilité aux gaz et réduire considérablement la production de poussière par érosion, CALCARB® peut être revêtu en surface par les procédés Calfoil, Calcoat et Calcoat CVD.
