Fabrication de wafers de silicium
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Isolation haute température pour procédés de tirage de monocristaux et solidification dirigée
Mersen apporte des solutions durables et efficaces, qui garantissent la pureté des wafers et la maîtrise des zones chaudes lors de la cristallisation.
Mersen propose ainsi des équipements et pièces dédiés aux contraintes de cette industrie :
- Creuset en graphite purifié
- Résistance en graphite purifié
- Protection thermique cylindrique en graphite ou composite Carbone/Carbone.
- Isolation en carbone rigide et feutre souple pour maîtriser les gradients thermiques de la croissance cristalline.
- Visserie en composite Carbone/Carbone
- Echangeur thermique en graphite.
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Le procédé de tirage de monocristaux CZ (méthode Czochralski)
Cette méthode de cristallisation du silicium à plus de 1425°C permet la fabrication de lingots monocristallins cylindriques de grande dimension, grâce à un contrôle très précis du gradient de température dans le four. Ces lingots sont ensuite tranchés à la scie à fil pour obtenir des tranches de silicium appelées "wafers", utilisées dans la micro-électronique et le photovoltaïque. Mersen fournit les éléments suivants :
- Creuset en graphite purifié
- Résistance chauffante en graphite purifié
- Isolation rigide de la zone chaude.
- Écran thermique en graphite et composite C/C
- Isolation du four.
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Les systèmes de solidificaiton dirigée (DSS)
Le bain de silicium fondu est refroidi de manière contrôlée pour obtenir une solidification du lingot avec des zones cristallines très étendues. Ces lingots sont ensuite tranchés à la scie à fil pour obtenir des tranches de silicium appelées "wafers", utilisées principalement dans le photovoltaïque. Mersen fournit les éléments suivants :
- Résistance chauffante en graphite purifié.
- Isolation en carbone rigide de la zone chaude.
- Visserie en composite
- Planche composite.
- Échangeur thermique en graphite.
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