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équipement graphite MOCVD épitaxie Mersen
Suscepteur revêtu SiC
graphite grain fin Mersen

Graphite pour traitements spéciaux

Du graphite ultra-pur Mersen pour l'industrie du semi-conducteur et des panneaux photovoltaïques contrôlé avec la méthode ICP.
Du graphite ultra-pur Mersen pour l'industrie du semi-conducteur et des panneaux photovoltaïques contrôlé avec la méthode ICP.
  • Pureté du graphite

    Mersen a développé des procédés qui permettent d’améliorer très sensiblement les propriétés physico-chimiques de nos matériaux, lorsque cela devient nécessaire tout particulièrement pour des applications de haute technologie aux fortes contraintes.

    Mersen propose la méthode analytique ETV-ICP (Electro Thermal Vaporization & Inductively Coupled Plasma) pour mesurer la pureté du graphite. 

  • Les contraintes technologiques des industries du semiconducteur et du solaire

    Contrainte de pureté

    • Nos procédés de purification permettent d’atteindre des niveaux d’impureté extrêmement faibles jusqu’à moins de 5 ppm.
    • Nous détectons et contrôlons ces impuretés selon la méthode ETV-ICP qui permet un niveau de détection jusqu’à moins de 5 ppb.

    Contrainte de propreté

    • L’imprégnation VCI (imprégnation Carbone vitreux) a été développée pour réduire l’émission de particules et le dégazage sous vide des matériaux, notamment pour les applications semi-conducteurs.
    graphite grain fin Mersen

    Résistance aux réactifs des procédés plasmas

    • Les produits de Mersen peuvent être revêtus par une couche mince de pyro-carbone, qui réduit au minimum la perméabilité du matériau aux produits réactifs, tout particulièrement pour les applications semi-conducteurs.
    • Pour renforcer encore la résistance aux réactifs du procédé, Mersen propose une imprégnation résine dans la masse qui réduit les porosités.
    Suscepteur revêtu SiC

    Résistance à l'hydrogène au-delà de 900°C, aux réactifs de MOCVD, aux acides forts (HCL, HF)

    • Mersen maîtrise le dépôt de couches minces de carbure de silicium qui offre une protection sans équivalent des équipements en graphite dans ses environnements particulièrement agressifs.
    équipement graphite MOCVD épitaxie Mersen
  • Documentation produits

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