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structures ultra-stables en carbure de silicium Mersen Boostec

Equipements pour l’industrie des semi-conducteurs et l’opto-mécanique

Mersen Boostec fournit les structures ultra-stables en carbure de silicium indispensables aux équipementiers de l’industrie des semi-conducteurs et de l’opto-mécanique.
Mersen Boostec fournit les structures ultra-stables en carbure de silicium indispensables aux équipementiers de l’industrie des semi-conducteurs et de l’opto-mécanique.
  • Mersen Boostec fournit les structures ultra-stables en carbure de silicium indispensables aux équipementiers de l’industrie des semi-conducteurs et de l’opto-mécanique.

    Les solutions Boostec® SiC sont utilisées dans des domaines exigeant une précision extrême

    • procédés dans l’industrie des semi-conducteurs ;
    • machines de lithographie EUV ;
    • instruments de mesure de surfaces optiques innovants ;
    • ultravide ;
    • équipements scientifiques.
  • Fabrication et conception : l’expertise de Boostec

    • Une expérience inégalée dans la fabrication de structures ultra-stables de 3 mètres
    • Possibilité de solution intégrée sur une seule pièce : système de palier à air, canaux de refroidissement internes, miroir intégré
    • Des pièces monolithiques en SiC aux assemblages complexes, Mersen Boostec fabrique des bancs, des grandes platines et des poutres ultra-stables ainsi que des structures coulissantes offrant un positionnement rapide et précis, mais aussi des chucks
  • La solution Boostec® SiC

    • De nombreuses options de configuration configurable à la demande
    • Résistance mécanique élevée et insensibilité à la fatigue mécanique
    • Isotropie parfaite grâce au matériau SiC
    • Finition polie pouvant servir de référence optique
    • Stabilité dans le temps à toute épreuve
    • Étanchéité aux gaz et à l’eau, aucun dégazage, aucune absorption d’humidité
    • Résistance à l’usure
    • Excellente inertie chimique
  • Documentation produits

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