Isolation : fabrication du polysilicium

Nous proposons des consommables et équipements dédiés à la fabrication du polysilicium :

• Électrodes en graphite ultra-pur
• Résistance en graphite ultra-pur et composite
• Cylindre de grande dimension en graphite ultra-pur et composite
• Isolation en carbone rigide purifiée et feutre souple.

Lors des procédés de dépôt, une part importante du gaz est transformé en STC (SiCl4 ). Pour parvenir au meilleur rendement, Ce STC doit être recyclé en TCS dans un réacteur d'hydrogénation à haute température 1500°C. Mersen est leader sur ce marché grâce à une offre particulièrement compétitive et complète :

• Cylindre de graphite ultra-pur jusqu'à 1.5 m de diamètre.
• Revêtements spéciaux pour améliorer la durée de vie.
• Isolation thermique en carbone rigide purifiée haute performance
• Résistance et planche en composite Carbone/Carbone.

Dans la chambre en quartz d'un réacteur, des micro-grains de silicium sont déversés dans un flux opposé de silane. Le réacteur et l'entrée de gaz sont chauffés par une résistance en graphite et isolés par du feutre rigide. Le silane se décompose en silicium et fait grossir les micro-grains. Le silicium pur est récupéré sous forme de bille.

La chambre du réacteur en quartz contient des barreaux de silicium très fins en forme de U montés sur des électrodes en graphite purifié. Les barreaux de silicium sont chauffés par le passage d'un courant électrique amené par les électrodes en graphite. Du trichlorosilane SiHCl3 (TCS) sous forme de gaz pénètre la chambre de dépôt à haute température et se décompose pour déposer du silicium pur sur les barreaux chauds. En fin de dépôt, les barreaux de silicium sont extraits du réacteur et brisés pour récupérer le polysilicium.

Mersen fournit les électrodes en graphite ultra-pur, comme consommables de ce procédé.